인화성 또는 독성 화학물질을 사용하는 반도체 장비의 배기 시스템 성능을 평가하기 위한 시험
입니다. 배기시스템이 갖춰져 있고 밸브 등의 기체 또는 액체 화학물질의 누출원이 있는 인클로저에 대해 시험을 수행하며, 기체 또는 액체가 유출될 경우의 유출량을 추정하여 그 값을 시험에 적용
합니다. QAI ASIA는 SEMI S6 시험을 통해 반도체 장비 공급자가 공통된 성능 기준에 따라 설계할
수 있도록 조언해드리며 공급자와 사용자가 장비의 배기 시스템에 필요한 요구조건들을 이해할
수 있도록 도와드립니다.

SEMI에서 제시한 반도체 제조 장비에 대한 전압순간저하(sag) 내성 기준 시험입니다. 산업환경에서 공급전원의 순간적인 저하 등 변동상황이 생겨도 반도체 제조 장비가 작동 중지 없이 견뎌내는지 전원 변동에 따른 내성을 평가합니다. 해당 시험기기가 F47시험 중에 정상동작 해야 합격입니다.